無(wú)塵車(chē)間潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)ISO14644根據(jù)懸浮顆粒濃度的指標(biāo)，劃分潔凈室（區(qū)）和相關(guān)控制環(huán)境中空氣無(wú)塵車(chē)間的潔凈度等級(jí)，僅考慮粒徑限值（低限）0.1um～0.5um范圍內(nèi)累計(jì)分布的粒子群。根據(jù)粒徑，可分為常規(guī)粒子(0).1um～0.5um），超微粒子(0).1um）和宏粒子(>5.0um）。

空氣無(wú)塵車(chē)間潔凈度分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)：ISO14644-1（國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)）

空氣無(wú)塵車(chē)間潔凈度分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)：GB/T16292-1996(中國(guó)標(biāo)準(zhǔn))

無(wú)塵室等級(jí)說(shuō)明

用戶在向供應(yīng)商開(kāi)放無(wú)塵室時(shí)，有以下提示。

一是等級(jí)定義模式如下：

ClassX(atYμm)

X是無(wú)塵室的等級(jí)，如100或100000等，Y是粒徑如0.2μm,0.5μm等等，可以重新選擇。這意味著用戶規(guī)定無(wú)塵室的顆粒含量必須滿足這個(gè)等級(jí)的限制。這可以減少爭(zhēng)端，以下是幾個(gè)例子：

Class1(0.1μm,0.2μm,0.5μm)

Class100(0.2μm,0.5μm)

Class100(0.1μm,0.2μm,0.5μm)

在Classes100(M3.5)andGreater(Class100，1000，10000...)，一般看一個(gè)粒徑。在那里。ClassesLessthan100(M3.5)(Class10，1...)，一般要看多少粒徑。

第二個(gè)技巧是規(guī)定無(wú)塵室的狀態(tài)，例如：

ClassX(atYμm)，At-rest

供應(yīng)商非常清楚無(wú)塵室應(yīng)該在At-rest狀態(tài)下驗(yàn)收。

第三個(gè)技巧是自定微粒濃度上限，一般在As-built當(dāng)無(wú)塵室非常干凈顆粒控制能力測(cè)試不容易，此時(shí)可以簡(jiǎn)單壓低驗(yàn)收上限，如：

Class10000(0.3μm<=10000)，As-built

Class10000(0.5μm<=1000)，As-built

這樣做的目的是確保無(wú)塵室在Operational狀態(tài)時(shí)，仍有足夠的顆粒控制能力。