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《柔性屏生產潔凈室AMC(氣態分子污染物)控制策略》

作者: 點擊:1718 發布時間:2025-06-19


OLED制造對有機胺類污染物敏感。某面板廠部署:①化學過濾器(胺類去除率≥95%);②分子篩吸附裝置(壽命≥6個月);③尾氣焚燒系統(溫度≥800℃),終使TVOC<50μg/m3.